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鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司(簡稱:鵬城微納),公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),具備先進的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺和檢測設(shè)備平臺,可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市,具備半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導(dǎo)體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。
公司核心業(yè)務(wù)是半導(dǎo)體襯底材料的研發(fā)與制造,半導(dǎo)體外延片的研發(fā)與制造,半導(dǎo)體工藝裝備的研發(fā)與制造。包括了半導(dǎo)體裝備(工業(yè)母機)研發(fā)、生產(chǎn)制造和銷售;主要是PVD、CVD和MBE系列設(shè)備;熱絲CVD金剛石工藝研發(fā)、金剛石工藝裝備的設(shè)計制造和銷售;重點是研發(fā)微米晶、納米晶金剛石晶圓片和工業(yè)母機的研發(fā)制造;以產(chǎn)學(xué)研的模式,圍繞第二代、第三代、第四代半導(dǎo)體,開展半導(dǎo)體材料制備和工業(yè)母機的研發(fā)和中試,研發(fā)設(shè)計自主可控的成套工藝裝備和關(guān)鍵零部件,研發(fā)設(shè)計自主可控的半導(dǎo)體襯底材料和外延片。
公司人才團隊知識結(jié)構(gòu)完整,有來自工業(yè)界的高級裝備設(shè)計師團隊,他們具有20多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。
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